在微(wēi)納加工，MEMS(微機電(diàn)係統(tǒng))，LED以及(jí)半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)器件研(yán)發的實驗(yàn)室(shì)場景(jǐng)中(zhōng)，光刻顯影是決(jué)定圖形(xíng)轉(zhuǎn)移(yí)精度(dù)的核心環節。然(rán)而(ér)，傳(chuán)統開(kāi)放式或半(bàn)開放式顯(xiǎn)影操(cāo)作往往(wǎng)麵臨兩(liǎng)難困(kùn)境：一方麵難以(yǐ)滿(mǎn)足高精(jīng)度工藝對參(cān)數(shù)穩定性和環境(jìng)潔淨度的苛刻(kè)要(yào)求，另一方麵(miàn)顯影(yǐng)液(yè)(如TMAH四(sì)甲(jiǎ)基(jī)氫氧化銨(ǎn))的(dí)揮(huī)發容(róng)易(yì)造成(chéng)實驗(yàn)室無(wú)組織(zhī)排放，帶來(lái)環境與職業(yè)健康隱患。全封(fēng)閉(bì)式桌麵顯影(yǐng)機的出現(xiàn)，正是為了同(tóng)時攻克(kè)“精(jīng)密(mì)工藝控製(zhì)”與(yǔ)“綠色安全合規(guī)”這(zhè)兩(liǎng)大(dà)痛點。
一(yī)， 全封(fēng)閉結(jié)構：從源頭(tóu)阻斷無組(zǔ)織排(pái)放(fàng)
所謂“無組織排放”，是(shì)指非密閉係統(tǒng)逸散(sàn)到(dào)大氣中(zhōng)的揮發性(xìng)化學(xué)物(wù)質。顯影(yǐng)液多(duō)具有(yǒu)鹼性和(hé)一(yī)定的揮發(fā)性，長期在(zài)開放台麵上(shàng)操(cāo)作，不(bù)僅腐蝕實驗室設(shè)備(bèi)，更威(wēi)脅操(cāo)作(zuò)人員(yuán)呼(hū)吸(xī)道與皮膚健(jiàn)康。
全封閉(bì)式(shì)桌(zhuō)麵顯影機(jī)采用(yòng)一體(tǐ)化密(mì)閉(bì)腔(qiāng)體設計，操(cāo)作全(quán)程(包括噴液，顯(xiǎn)影，清(qīng)洗，甩幹)均在腔(qiāng)體(tǐ)內部(bù)完成。這(zhè)種結(jié)構(gòu)能有效(xiào)避(bì)免顯影液霧(wù)氣，揮(huī)發氣(qì)體擴(kuò)散(sàn)到外部環(huán)境(jìng)中。設備內(nèi)腔(qiāng)通常采(cǎi)用(yòng)鏡(jìng)麵拋(pāo)光不鏽鋼(gāng)或特氟龍(lóng)塗層(céng)，耐腐蝕且易(yì)清洗(xǐ)，配合內置的排氣(qì)與過(guò)濾(lǜ)係統，可(kě)對腔體內(nèi)可能產生的微(wēi)量(liáng)揮發物(wù)進(jìn)行收(shōu)集或(huò)過濾，從而真(zhēn)正(zhèng)實(shí)現實驗室(shì)顯(xiǎn)影工位(wèi)的(dí)“無組(zǔ)織排(pái)放”近零達(dá)標，契(qì)合(hé)現代實(shí)驗室日(rì)益嚴格的EHS(環境(jìng)，健康，安全(quán))管(guǎn)理(lǐ)要(yào)求。
二， 精密顯影控(kòng)製：保(bǎo)障工(gōng)藝(yì)重(zhòng)復性(xìng)與(yǔ)一(yī)致性
除了(liǎo)環(huán)保(bǎo)與安全優勢(shì)，全封(fēng)閉環境更為顯影工藝(yì)本(běn)身創造(zào)了(liǎo)穩(wěn)定的微環(huán)境(jìng)，隔絕了外界(jiè)灰(huī)塵(chén)，氣流和濕(shī)度(dù)波動(dòng)對顯影(yǐng)質量(liáng)的幹擾(rǎo)。
在精(jīng)密(mì)控製方(fāng)麵(miàn)，這(zhè)類設備(bèi)通(tōng)常具備以(yǐ)下核(hé)心能(néng)力：
高精度運動(dòng)與控(kòng)製(zhì)：轉速範圍(wéi)可(kě)達20～3000 rpm，分辨率±1 rpm，加速度(dù)20～10,000 rpm/s，工(gōng)藝(yì)時間設(shè)定(dìng)精度(dù)可(kě)達0.1秒(miǎo)。這種毫秒(miǎo)級和轉/分(fēn)級的(dí)精準操(cāo)控，是保證不同(tóng)批次樣品顯影(yǐng)結果一致(zhì)性的基(jī)礎。
流體(tǐ)精確(què)管理：顯(xiǎn)影液流(liú)量可調(tiáo)，並具備(bèi)回吸功能(防止滴液(yè))，噴嘴位置可程控(kòng)移動(dòng)。部分(fēn)設(shè)備(bèi)配置多(duō)路(lù)管(guǎn)路(如(rú)1路顯影液(yè)，1路(lù)純(chún)水(shuǐ)，1路氮氣(qì))，實(shí)現自(zì)動化(huà)的顯(xiǎn)影—衝洗—吹(chuī)幹流程，避免(miǎn)人(rén)為操(cāo)作帶來的(dí)誤(wù)差和(hé)交叉(chā)汙染。
真空吸(xī)附與保護：內(nèi)置(zhì)可調(tiáo)真(zhēn)空(kōng)吸附固(gù)定(dìng)樣(yàng)品(pǐn)(支持碎片(piàn)到8英(yīng)寸晶(jīng)圓)，壓力(lì)實(shí)時(shí)顯(xiǎn)示(shì)；同時配備(bèi)真空過濾器，防止液(yè)體吸入(rù)真(zhēn)空(kōng)泵，兼(jiān)顧工藝穩定性與設備壽命(mìng)。
三(sān)， 桌麵(miàn)級(jí)形(xíng)態：小(xiǎo)空(kōng)間裏的大作(zuò)為(wéi)
與占(zhān)據(jù)很大(dà)潔(jié)淨間(jiān)麵(miàn)積的大(dà)型(xíng)產綫顯(xiǎn)影(yǐng)軌道不同(tóng)，全(quán)封閉式(shì)桌麵(miàn)顯影機(jī)屬(shǔ)於(yú)緊湊(còu)型(xíng)設備(bèi)(典(diǎn)型尺(chǐ)寸(cùn)約550×600×405 mm)，可直接(jiē)安置於(yú)普通(tōng)實驗(yàn)室(shì)工(gōng)作(zuò)台(tái)或(huò)小型潔(jié)淨台(tái)內。它既適(shì)合(hé)科(kē)研院校的材料(liào)與(yǔ)器件(jiàn)前期研(yán)發，工(gōng)藝(yì)參數摸(mō)索，也(yě)適合中小批量多(duō)品(pǐn)種的(dí)高附加值(zhí)器件試製(zhì)。
這(zhè)種(zhǒng)“全封(fēng)閉 + 桌麵(miàn)化”的(dí)組(zǔ)合，讓原本需要在大型(xíng)產綫上才(cái)能(néng)部分實現(xiàn)的密閉顯影(yǐng)與(yǔ)廢液(yè)/廢氣(qì)管(guǎn)控，下(xià)沉到(dào)了每一(yī)個(gè)普通研發(fā)實驗室，降低(dī)了高精度(dù)微(wēi)加工(gōng)研(yán)發的(dí)門檻。
結(jié)語(yǔ)
全(quán)封閉(bì)式(shì)桌麵(miàn)顯影機並(bìng)非簡(jiǎn)單(dān)地在舊(jiù)設備(bèi)上(shàng)加(jiā)個蓋(gài)子，而(ér)是(shì)從腔體流場，流(liú)體控製，運動精度(dù)到安全排放的(dí)整(zhěng)體(tǐ)再設計。它在實(shí)現(xiàn)實驗室(shì)精(jīng)密(mì)顯(xiǎn)影(yǐng)(高精(jīng)度，高一致性(xìng)，高(gāo)潔(jié)淨)的同時，把(bǎ)顯影液的無(wú)組(zǔ)織(zhī)排(pái)放鎖死在(zài)腔體之內，推(tuī)動(dòng)實驗室微納加(jiā)工(gōng)向(xiàng)更精(jīng)細，也(yě)更(gēng)綠(lǜ)色的(dí)方(fāng)向(xiàng)邁進。對(duì)於追求工藝(yì)質量與(yǔ)EHS合規並重(zhòng)的研發團隊而言(yán)，這(zhè)類設(shè)備正逐(zhú)漸成(chéng)為桌麵(miàn)微(wēi)加工(gōng)流(liú)程(chéng)中(zhōng)的(dí)關鍵(jiàn)一環。
點(diǎn)擊交(jiāo)流