實(shí)驗(yàn)室(shì)真空鍍(dù)膜設備采用封閉的係統框(kuàng)架(jià),外觀漂亮,使用(yòng)安全(quán)。4~12組(zǔ)蒸(zhēng)發源可(kě)兼容(róng)金屬(shǔ),有機物(wù)蒸(zhēng)發。廣(guǎng)泛(fàn)應用(yòng)於高校材料,物(wù)理(lǐ),化(huà)學,電子,能(néng)源等相關學科以(yǐ)及(jí)科研(yán)院所製備高(gāo)質量(liáng)功能(néng)薄膜(mó),蒸(zhēng)鍍電(diàn)極等,特別適(shì)合(hé)OPV/鈣(gài)鈦礦/無(wú)機薄膜太(tài)陽能電池(chí),半(bàn)導(dǎo)體(tǐ),有機EL,
OLED顯(xiǎn)示研究(jiū)與(yǔ)開(kāi)發領(lǐng)域(yù)。

主(zhǔ)要特(tè)點(diǎn)/優勢:
★ 封(fēng)閉的(dí)係統(tǒng)框架設計,外觀更(gēng)漂(piāo)亮,使用更安全;是一(yī)台兼具美學(xué)和(hé)用(yòng)戶操控體(tǐ)驗(yàn)的全新(xīn)升級(jí)產品(pǐn);
★ 前開(kāi)門真空腔(qiāng)體,方便取放(fàng)基片,更換(huàn)蒸發舟,添加(jiā)蒸發材(cái)料以及真(zhēn)空(kōng)室的日常(cháng)維(wéi)護;
★ 1200L/s分子泵(bèng)作為(wéi)主抽泵,真(zhēn)空(kōng)極限高達(dá)8×10-5Pa(6×10-7Torr);另可選進(jìn)口(kǒu)磁懸浮(fú)分子泵(bèng)或者低溫泵作為(wéi)主(zhǔ)抽(chōu)泵(bèng),真空(kōng)極限(xiàn)高(gāo)達(dá)3×10-6Pa(2×10-8Torr);
★ 4~12組水(shuǐ)冷(lěng)式蒸發電(diàn)極(jí),可長時(shí)間穩(wěn)定(dìng)工(gōng)作(zuò),兼(jiān)容(róng)金(jīn)屬材料與有機(jī)材(cái)料的(dí)蒸發源(yuán)設計(jì),源間有防止交(jiāo)叉汙染隔板(bǎn);
★ 專(zhuān)業(yè)真空蒸發電源,恒(héng)流/恒功率(shuài)控(kòng)製。電流(liú),功率(shuài)可(kě)以預先設置,可(kě)實現一(yī)鍵啟動和(hé)停止的自動(dòng)控製功(gōng)能;
★ 最大140mm基片/15~25mm ITO/FTO玻(bō)璃25片(piàn)/球形樣品架,可定製一(yī)體化(huà)高(gāo)精度刻蝕掩(yǎn)膜板;基片(piàn)台(tái)公(gōng)轉,轉速0~25rpm連續可(kě)調;
★ 襯底(dǐ)可(kě)選擇加熱或(huò)水(shuǐ)冷(lěng),源基距最大350mm;
★ 更(gēng)優的(dí)薄膜均(jūn)匀性和(hé)重(zhòng)復性,采(cǎi)用進口(kǒu)膜厚監控(kòng)儀在綫(xiàn)監測(cè)和控(kòng)製(zhì)蒸發(fā)速(sù)率(shuài),膜厚(hòu);
★ 可沉(chén)積(jī)金屬(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等),非(fēi)金屬,化(huà)合(hé)物(MoO3, LiF等)及有機物材(cái)料(liào),可拓(tuò)展沉(chén)積(jī)單(dān)層(céng)膜,多(duō)層膜及(jí)混(hùn)合膜;
★ 設備集(jí)成(chéng)度(dù)高,結構(gòu)緊湊,占(zhān)地麵(miàn)積(jī)小(1.28平米(mǐ));設(shè)備(bèi)配腳輪(lún),方(fāng)便移動(dòng)和(hé)定(dìng)位。