噴(pēn)金(jīn)儀的(dí)功(gōng)能特點

　　噴金(jīn)儀(yí)是在封閉腔(qiāng)室中(zhōng)，放置陽極靶(bǎ)材(cái)，充(chōng)入氣體，保持(chí)一(yī)定(dìng)的真(zhēn)空度，在陽極和陰(yīn)極(jí)之間(jiān)加(jiā)載高(gāo)壓，會(huì)發生(shēng)輝光放電(diàn)現(xiàn)象。電離(lí)的氣體(tǐ)離子會轟(hōng)擊，侵(qīn)蝕(shí)陽極靶材(cái)。靶材原子會因此(cǐ)向(xiàng)四周擴(kuò)散，並在(zài)樣品上沉(chén)積(jī)，最終在樣(yàng)品表(biǎo)麵形成一個(gè)均匀(yún)的鍍層(céng)。這個鍍(dù)層可以(yǐ)抑(yì)製荷電(diàn)，減小熱(rè)損傷，提高二次電子(zǐ)產率，從(cóng)而改善掃描電鏡觀察效果(guǒ)。
  
　　噴金儀(yí)的功能特(tè)點：
 
　　1，通過高效低壓(yā)直流磁(cí)控頭進(jìn)行(háng)冷態精(jīng)細的噴(pēn)鍍過(guò)程(chéng)，避免樣品(pǐn)表(biǎo)麵受(shòu)損(sǔn)。
 
　　2，操(cāo)作容易快(kuài)捷(jié)，控製的(dí)參(cān)數(shù)包括(kuò)放氣(qì)以及(jí)氬(yà)氣(qì)換(huàn)氣(qì)控製。
 
　　3，可用MTM-10高分(fēn)辨(biàn)膜厚(hòu)控製(zhì)儀(選(xuǎn)件)精確測(cè)定所(suǒ)鍍膜(mó)的(dí)厚(hòu)度(dù)。
 
　　4，數字化(huà)的(dí)噴(pēn)鍍電流控製不受(shòu)樣(yàng)品室內氬氣壓力(lì)影(yǐng)響，可(kě)得到(dào)一(yī)致的(dí)鍍(dù)膜速(sù)率和最(zuì)佳(jiā)的(dí)鍍(dù)膜效果。
 
　　5，可(kě)使用多種(zhǒng)金(jīn)屬(shǔ)靶(bǎ)材：Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd(Au靶為(wéi)標配)，靶材更(gēng)換快速方(fāng)便。
 
　　噴(pēn)金(jīn)儀(yí)選擇(zé)合(hé)適(shì)的氣體以及靶材，就可以(yǐ)用來(lái)為掃(sǎo)描(miáo)電鏡(jìng)的樣(yàng)品(pǐn)鍍(dù)層(céng)。對樣品表麵濺射金屬鍍(dù)層有以下(xià)好(hǎo)處：
 
　　(1)減少電子(zǐ)束對樣品的損傷。
 
　　(2)提(tí)高(gāo)導熱(rè)性(xìng)能。
 
　　(3)減少樣品荷電(diàn)(提(tí)高導(dǎo)電性(xìng))。
 
　　(4)提(tí)高(gāo)二(èr)次電子產率。
 
　　(5)減小電(diàn)子束(shù)穿(chuān)透效應(yīng)，提高(gāo)邊緣分辨(biàn)率(shuài)。
 
　　(6)保(bǎo)護電子束敏(mǐn)感(gǎn)樣(yàng)品。
 
　　然而，為(wéi)了(liǎo)獲得(dé)更細小(xiǎo)的(dí)晶粒(lì)尺(chǐ)寸，更薄的(dí)連續鍍層，有時候(hòu)也(yě)會使(shǐ)用(yòng)其他靶材(比如鉻)。這些(xiē)靶材(cái)對真空度(dù)的要(yào)求更高，需要(yào)額(é)外(wài)配(pèi)置分(fēn)子(zǐ)泵方可達到要求(qiú)。