全(quán)自(zì)動(dòng)離(lí)子(zǐ)濺(jiàn)射(shè)儀為(wéi)一種(zhǒng)有著(zhuó)緊(jǐn)湊結構(gòu)的桌上型鍍膜(mó)係統(tǒng)，對(duì)於掃描(miáo)電(diàn)鏡成像(xiàng)中非(fēi)導電樣品高質量(liáng)鍍膜(mó)尤(yóu)為適(shì)用(yòng)。試樣幹燥(zào)清(qīng)潔為離(lí)子(zǐ)濺射鍍膜的(dí)基本(běn)要求(qiú)。在必(bì)要時，交換試樣與陰極(jí)的位置(zhì)利用火花放電(diàn)從而對試(shì)樣表麵(miàn)進行清潔，之後(hòu)試(shì)樣復(fù)原(yuán)，再(zài)進行濺射鍍膜。鐵(tiě)，鎳，銅(tóng)鉛(qiān)等為(wéi)離子(zǐ)濺射儀(yí)常(cháng)用的陰(yīn)極材料，有時(shí)電剛(gāng)金，鉑，鈀(bǎ)，銦和(hé)其他金屬也能(néng)夠作為陰(yīn)極材(cái)料，氧(yǎng)氣為離子濺射(shè)儀常用的(dí)反應氣(qì)體。
全(quán)自動(dòng)離(lí)子濺(jiàn)射(shè)儀的常見故(gù)障及其解(jiě)決(jué)方法：
1，當出現檢測器失效(xiào)時如(rú)何(hé)解決
檢測器失效(xiào)時的原因有4種(zhǒng)：
①檢(jiǎn)測(cè)器的(dí)插(chā)頭與主(zhǔ)機(jī)板座鬆了(liǎo)；
②檢測(cè)器本(běn)身壞(huài)了；
③閥芯上的(dí)固定螺釘(dīng)與電(diàn)機轉動軸未(wèi)緊固(gù)到位；
④閥(fá)芯(xīn)本身太(tài)緊不(bù)能轉動(dòng)。檢(jiǎn)查(chá)的順序依次為③-①-④-②。
2，吸(xī)樣(yàng)不暢(chàng)的(dí)原(yuán)因及處理(lǐ)方(fāng)法：
吸(xī)樣(yàng)不暢(chàng)的原因(yīn)主(zhǔ)要有以下4種，沿(yán)著(zhuó)"由(yóu)簡(jiǎn)單到(dào)復(fù)雜(zá)"的思(sī)路來(lái)檢查(chá)；
①檢查管路各(gè)個接(jiē)口(kǒu)(包括電之間的(dí)連管(guǎn)，電(diàn)與閥(fá)之(zhī)間，電與泵管(guǎn)之間(jiān))的(dí)連管有(yǒu)無(wú)漏(lòu)氣，此(cǐ)種(zhǒng)現象(xiàng)表(biǎo)現(xiàn)為(wéi)不吸樣(yàng)；
②檢(jiǎn)查(chá)泵管是否粘連(lián)或(huò)過於(yú)疲勞，此時應(yīng)更換新泵管。現(xiàn)象表現為泵管(guǎn)發(fā)出(chū)異(yì)常聲(shēng)音；
③各(gè)管道內(nèi)尤其(qí)是各接(jiē)頭(tóu)處有(yǒu)蛋白沉(chén)澱，此(cǐ)種現(xiàn)象(xiàng)表現(xiàn)為(wéi)液(yè)速(sù)度(dù)過(guò)程定位(wèi)不穩，即使換(huàn)了新泵(bèng)管也是(shì)樣，解決辦法(fǎ)為(wéi)取下(xià)各接頭用水清(qīng)洗幹淨(jìng)；
④閥本身有問題(tí)，要(yào)仔(zī)細(xì)地檢查(chá)。
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