國內首(shǒu)條(tiáo)量子(zǐ)芯片(piàn)生產(chǎn)綫亮相央視(shì) 雷博(bó)科儀設備(bèi)助力(lì)量子芯片光刻

在《流浪地球2》中，智(zhì)能(néng)量(liáng)子(zǐ)計算機(jī)MOSS作為(wéi)隱藏(cáng)的(dí)幕後黑手，讓擁有*計算能力的(dí)量子計算機(jī)再(zài)一(yī)次成為熱(rè)點。MOSS並非純(chún)粹的(dí)科(kē)學(xué)幻(huàn)想，現實中(zhōng)量子(zǐ)計(jì)算機(jī)的研究早(zǎo)已起(qǐ)步(bù)，並取(qǔ)得了實際成(chéng)果。

我國在量(liáng)子計(jì)算(suàn)機(jī)領(lǐng)域走(zǒu)在世(shì)界(jiè)前列。近幾年，“九章(zhāng)”“祖(zǔ)衝之(zhī)號(hào)”量子(zǐ)計算機先後問世並(bìng)完成升(shēng)級(jí)，在(zài)超導量(liáng)子係(xì)統，隨機(jī)綫路采樣任(rèn)務等(děng)方麵實(shí)現了量子計算*性。而(ér)最新量子計(jì)算機“悟空(kōng)”也即(jí)將在(zài)合肥本(běn)源量(liáng)子的(dí)實(shí)驗(yàn)室問(wèn)世，有望成(chéng)為國(guó)內(nèi)頂尖(jiān)的實(shí)用(yòng)量子計算(suàn)機。

近日(rì)，為(wéi)“悟空(kōng)”生產配套量子芯(xīn)片——“悟(wù)空芯(xīn)”的國內首條量子(zǐ)芯片生產(chǎn)綫(xiàn)通(tōng)過央視(shì)直播展(zhǎn)現在觀眾麵前。據(jù)報(bào)道(dào)，該(gāi)條產綫於(yú)2022年(nián)1月投入(rù)運營(yíng)，在(zài)一(yī)年時(shí)間(jiān)內，陸續導入(rù)24台量(liáng)子(zǐ)芯片生產相(xiāng)關的工藝(yì)設(shè)備，孵(fū)化出了3套自研(yán)的(dí)量子芯(xīn)片專用設(shè)備。其(qí)中，江蘇雷博(bó)科學(xué)儀(yí)器有(yǒu)限(xiàn)公司(sī)（以下(xià)簡稱(chēng)“雷(léi)博科(kē)儀”）研(yán)發的(dí)AC200-SE-CTM 自動匀膠機和(hé)AC200-S-CTM自動顯(xiǎn)影(yǐng)機成為(wéi)該(gāi)條(tiáo)產(chǎn)綫(xiàn)匀膠(jiāo)工藝(yì)和顯影工(gōng)藝的專用(yòng)設備。

 

 

量(liáng)子(zǐ)芯(xīn)片(piàn)工作(zuò)在-270℃左(zuǒ)右的(dí)環境(jìng)中，與普通(tōng)芯(xīn)片有較(jiào)大(dà)區(qū)別，因此量(liáng)子芯片(piàn)的(dí)材料(liào)，生(shēng)產工藝(yì)等(děng)也與(yǔ)普(pǔ)通芯片(piàn)不同，這(zhè)對生產(chǎn)設備提出了特(tè)殊的(dí)要(yào)求。該(gāi)條產綫所(suǒ)用的AC200-SE-CTM 自動匀(yún)膠機和AC200-S-CTM自(zì)動(dòng)顯影機(jī)由雷(léi)博科(kē)儀為(wéi)量(liáng)子芯(xīn)片生(shēng)產專門定製。匀膠機為自(zì)動(dòng)擺臂與4路滴膠功能，顯影(yǐng)機(jī)則是(shì)擁有雙(shuāng)自動擺臂，3路(lù)顯影(yǐng)，1路純水，1路(lù)氮(dàn)氣的(dí)功能，可(kě)處(chǔ)理1cm至8英(yīng)寸晶(jīng)圓(yuán)。

 

自動(dòng)顯(xiǎn)影機

 

 

自動匀膠(jiāo)機

 

AC係列(liè)是雷(léi)博科(kē)儀旋塗薄膜製備類產品綫的代(dài)表，應(yīng)用於量子芯(xīn)片(piàn)生產綫的AC200衍(yǎn)生機采用模(mó)塊(kuài)化(huà)設計，支(zhī)持(chí)去(qù)邊，背洗(xǐ)，匀膠，顯(xiǎn)影(yǐng)，清(qīng)洗(xǐ)等(děng)功能(néng)模塊(kuài)個(gè)性(xìng)化(huà)定製(zhì)，可(kě)快(kuài)速(sù)拆卸(xiè)和替換原有(yǒu)功能模塊，操作便捷。同時AC200衍生機還(huán)配載(zǎi)了精密的運動控(kòng)製(zhì)係統，可提高(gāo)實驗精度(dù)及重(zhòng)復(fù)性(xìng)。

 





匀(yún)膠(jiāo)和(hé)顯影是(shì)芯片生(shēng)產核(hé)心(xīn)工藝——光刻(kè)工(gōng)序的(dí)重要步驟(zhòu)。光刻工序(xù)分為(wéi)塗(tú)膠，曝(pù)光(guāng)，顯(xiǎn)影(yǐng)三(sān)大步驟(zhòu)，首先用匀膠機將(jiāng)光(guāng)刻膠(jiāo)塗(tú)覆在(zài)晶圓(yuán)表麵，再用(yòng)光刻機(jī)進(jìn)行曝(pù)光(guāng)，然後利用顯影(yǐng)機進(jìn)行圖形顯(xiǎn)影。匀膠和(hé)顯(xiǎn)影直接(jiē)影響光刻(kè)工序(xù)圖(tú)形的質量，圖形(xíng)質量(liáng)也對後續蝕(shí)刻和離子注入等(děng)工藝(yì)有(yǒu)著(zhuó)重要影響。雷(léi)博(bó)科儀成為(wéi)國(guó)內(nèi)首條量子芯(xīn)片生產綫(xiàn)匀膠(jiāo)和(hé)顯(xiǎn)影設(shè)備的(dí)提(tí)供(gōng)者，不僅驗證了其在塗膠(jiāo)顯影設備技術上(shàng)的先進性，也(yě)說(shuō)明了(liǎo)國產塗膠顯影(yǐng)設備(bèi)已經可以(yǐ)滿足(zú)部分(fēn)高端芯片(piàn)生產。

據了解(jiě)，在晶(jīng)圓(yuán)加(jiā)工領域(yù)，塗膠(jiāo)顯(xiǎn)影設備(bèi)主要(yào)被(bèi)日本東京(jīng)電子有限公司壟斷(duàn)。除光刻(kè)機(jī)外，塗膠顯影(yǐng)設(shè)備的(dí)國產化替(tì)代也(yě)是(shì)國內芯片(piàn)產品(pǐn)發展的重要課(kè)題(tí)。目前，國(guó)產塗膠顯影(yǐng)設備廠(chǎng)商正在(zài)迎(yíng)頭(tóu)趕(gǎn)上，逐(zhú)步打(dǎ)破(pò)進(jìn)口產品壟斷並(bìng)填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空(kōng)白，雷博(bó)科儀也在為實現(xiàn)塗(tú)膠(jiāo)顯(xiǎn)影設(shè)備的國產(chǎn)化替(tì)代(dài)而努力。在(zài)量子(zǐ)芯(xīn)片(piàn)生產(chǎn)綫(xiàn)發光(guāng)發熱的塗膠顯(xiǎn)影設(shè)備，在普(pǔ)通芯片生產中也(yě)能(néng)夠(gòu)提供令人(rén)滿(mǎn)意的成果(guǒ)。

為(wéi)解決芯(xīn)片的“卡(qiǎ)脖子”問題(tí)，我國對國產(chǎn)芯片產業提供了政(zhèng)策，資金等多(duō)方麵的(dí)大力(lì)支(zhī)持。近年(nián)來，我(wǒ)國不僅(jǐn)在(zài)矽(guī)基芯(xīn)片上，在(zài)光量(liáng)子(zǐ)，超導量(liáng)子(zǐ)，碳(tàn)基(jī)芯片等(děng)新(xīn)型芯片(piàn)領域(yù)也接(jiē)連實現重(zhòng)大突破，芯片(piàn)產(chǎn)業(yè)的自(zì)立自強(qiáng)在逐步(bù)推進(jìn)。這是國產(chǎn)芯片(piàn)產業(yè)的(dí)高速發展(zhǎn)時(shí)期(qī)，也是雷(léi)博科(kē)儀(yí)等芯片生(shēng)產(chǎn)設(shè)備廠商的重(zhòng)要舞台(tái)。助力國產芯(xīn)片的(dí)發展(zhǎn)，雷博(bó)科儀已做好準備。