離子(zǐ)濺射(shè)儀(yí)中的(dí)靶材料(liào)有哪些選(xuǎn)擇？

　　離子(zǐ)濺射技術(shù)在工業(yè)生產(chǎn)和(hé)科(kē)學研究(jiū)中廣(guǎng)泛應(yīng)用，其(qí)中(zhōng)靶材料(liào)的選(xuǎn)擇對濺(jiàn)射過程(chéng)及薄膜性(xìng)能具(jù)有重(zhòng)要影(yǐng)響。下麵將(jiāng)介(jiè)紹(shào)在離(lí)子(zǐ)濺(jiàn)射(shè)儀(yí)中常見(jiàn)的(dí)靶(bǎ)材料以及它們的特點(diǎn)和(hé)應用。
 
　　1
，金屬
 
　　金屬(shǔ)是最常(cháng)見(jiàn)的濺(jiàn)射靶材料之(zhī)一，例如(rú)銅
，鋁
，鍍(dù)鉻
，鎢等。這些(xiē)金(jīn)屬(shǔ)靶材料都(dū)具有較高的(dí)導電性和熱傳導性能(néng)，可(kě)以製備出(chū)良(liáng)好的導電薄膜(mó)。此外，金屬還可(kě)以與(yǔ)其(qí)他(tā)元(yuán)素或化合物混(hùn)合製備出一係(xì)列(liè)復合薄(báo)膜，從而(ér)實現(xiàn)多種功能(néng)。比(bǐ)如(rú)，與氮(dàn)混合可(kě)以(yǐ)製(zhì)備出具有(yǒu)良(liáng)好硬度(dù)和(hé)耐磨(mó)性的氮化(huà)銅(tóng)薄膜；與(yǔ)碳混合(hé)可以(yǐ)製備(bèi)出(chū)具有(yǒu)良好抗(kàng)腐蝕性(xìng)的碳化鋁薄膜等。
 



 

　　2
，氧化物(wù)
 
　　氧(yǎng)化物(wù)是另(lìng)一(yī)類常(cháng)見的靶(bǎ)材(cái)料，包括二氧化矽
，二(èr)氧化鈦
，氧化鋁
，氧化鋅等。這(zhè)些(xiē)材料(liào)具有良好的(dí)化(huà)學穩定性和機械性(xìng)能，可以製(zhì)備(bèi)出(chū)具(jù)有(yǒu)優異光學
，電(diàn)學和(hé)磁學(xué)性質的(dí)薄膜。例如，氧化(huà)鋁(lǚ)薄(báo)膜具有優異的(dí)絕(jué)緣性能(néng)和高(gāo)介(jiè)電常數(shù)，可用於(yú)製備(bèi)電容器(qì)或(huò)光學(xué)分析(xī)儀器(qì)；二氧化(huà)鈦薄(báo)膜則具有良好(hǎo)的光催(cuī)化性能和(hé)光(guāng)電特性(xìng)，可應用(yòng)於環境汙(wū)染(rǎn)治理和太陽能電(diàn)池等。
 
　　3
，碳基(jī)材料(liào)
 
　　碳(tàn)基(jī)材(cái)料(liào)包(bāo)括(kuò)金剛石
，石(shí)墨(mò)
，石墨(mò)烯(xī)等，它(tā)們(mén)具有較高的硬(yìng)度(dù)
，導(dǎo)電性和熱傳(chuán)導性(xìng)能(néng)，可製備出具有良(liáng)好(hǎo)機(jī)械
，光學和電學性能的(dí)薄膜。例如(rú)，金剛石(shí)薄膜(mó)具有的硬(yìng)度(dù)和(hé)耐(nài)磨(mó)性，可用(yòng)於(yú)製備切削工具和(hé)陶(táo)瓷(cí)工(gōng)具(jù)塗層；石墨烯薄(báo)膜則(zé)具有優(yōu)異(yì)的(dí)電(diàn)學性能和(hé)透(tòu)明(míng)性(xìng)，可用(yòng)於(yú)製(zhì)備柔性透明導電薄(báo)膜等。
 
　　4
，氮化(huà)物(wù)
 
　　氮化物包括氮(dàn)化矽
，氮化镓(jiā)
，氮(dàn)化鋁(lǚ)等(děng)，這些(xiē)材(cái)料具有(yǒu)較高(gāo)的(dí)硬(yìng)度(dù)
，化學穩定性(xìng)和(hé)耐(nài)熱(rè)性能，可製備(bèi)出具(jù)有(yǒu)硬(yìng)度(dù)和優異耐(nài)磨性(xìng)的薄膜(mó)。例如，氮化矽薄膜(mó)具(jù)有良(liáng)好的(dí)機(jī)械和電(diàn)學(xué)性能(néng)，可用於(yú)製備(bèi)傳感器
，壓力計等(děng)；氮化鋁(lǚ)薄(báo)膜則(zé)具有較(jiào)高(gāo)的導(dǎo)電性和光學性(xìng)能(néng)，可(kě)用(yòng)於製備(bèi)顯示器(qì)件(jiàn)和太陽能電池等。
 
　　5
，其他
 
　　除了(liǎo)上(shàng)述常見的靶材料外，還(huán)有(yǒu)許(xǔ)多(duō)其他(tā)材(cái)料(liào)也(yě)可以(yǐ)用於(yú)離(lí)子(zǐ)濺(jiàn)射。例如(rú)，半(bàn)導體材(cái)料如(rú)矽(guī)
，鍺等，可(kě)用(yòng)於(yú)製(zhì)備光電器件(jiàn)和集成電路；磁(cí)性(xìng)材(cái)料如鐵(tiě)
，鎳(niè)等(děng)。