小型(xíng)離子(zǐ)濺射(shè)儀參數：
1.腔(qiāng)體尺(chǐ)寸(cùn)：石英玻璃(lí)，直(zhí)徑150mm*高度130mm
2.供電(diàn)規格(gé)：AC220V，200w
3.適用(yòng)靶材(cái)：貴(guì)金(jīn)屬AU，Pt，Pd合(hé)金(jīn)AU-Pt，AU-Pd 常規(guī)金屬Cu，W，Ag ，Cr 等
4.樣(yàng)品台可調高(gāo)度(dù)：20~50mm
5.樣(yàng)品台尺(chǐ)寸：直(zhí)徑55mm
6.工作真空度：1~10Pa
7.氣體(tǐ)路數：單(dān)路
8.氣體(tǐ)流(liú)量：手動調節
9.控製：觸屏控製
10.外(wài)形尺寸(cùn)：260mm*410mm*343mm(寬*深*高(gāo))
11.重量：10KG
12.真(zhēn)空泵：VRD-8
小(xiǎo)型離(lí)子(zǐ)濺射(shè)儀簡(jiǎn)介：
1，人性(xìng)化(huà)設(shè)計，儀器操(cāo)作簡(jiǎn)單(dān)，一(yī)鍵鍍膜。
2，儀器(qì)小(xiǎo)巧，不(bù)占空(kōng)間，適(shì)用於實(shí)驗室，科(kē)研院所(suǒ)等。
3，鍍(dù)膜均(jūn)匀細(xì)密，適用於多(duō)種靶(bǎ)材。
4，樣(yàng)品台可以快速調(tiáo)節，方便取(qǔ)放(fàng)樣(yàng)品(pǐn)。
5，儀(yí)器(qì)性(xìng)能(néng)可靠(kào)，設(shè)有多重安(ān)全(quán)保護(hù)機製。
小(xiǎo)型離子濺(jiàn)射儀(yí)是(shì)一種物(wù)理氣相沉積技術(shù)，可用(yòng)於(yú)製備薄膜(mó)和(hé)表(biǎo)麵處理。它(tā)采(cǎi)用高能(néng)離子轟擊(jī)靶(bǎ)材表麵(miàn)，將材(cái)料濺射(shè)出(chū)來(lái)並(bìng)沉積在底(dǐ)片上，從而製備(bèi)出薄膜。相比(bǐ)於傳(chuán)統(tǒng)的濺射技(jì)術(shù)，小(xiǎo)型離子濺射儀(yí)具有以下優點(diǎn)：設(shè)備(bèi)小(xiǎo)巧，易(yì)於操(cāo)作，比較經(jīng)濟，沉(chén)積溫(wēn)度(dù)較(jiào)低(dī)，沉積速(sù)率高(gāo)，薄膜質量(liáng)較(jiào)好等優(yōu)點。因(yīn)此，它已廣(guǎng)泛應(yīng)用於(yú)微納(nà)米(mǐ)材料(liào)和(hé)表(biǎo)麵科學等領域。
小型離子濺射(shè)儀是一種重(zhòng)要的表麵(miàn)處(chǔ)理(lǐ)設備，它(tā)通過(guò)將(jiāng)高能(néng)離子注(zhù)入目標材(cái)料表麵來(lái)改變(biàn)其物(wù)理和化(huà)學性(xìng)質。其主(zhǔ)要(yào)特點(diǎn)包括(kuò)：
1. 尺(chǐ)寸小(xiǎo)巧(qiǎo)：通常具有(yǒu)較(jiào)小(xiǎo)的尺(chǐ)寸和體(tǐ)積(jī)，可以在(zài)較小(xiǎo)的實驗室中使(shǐ)用(yòng)，方(fāng)便(biàn)實驗者們進(jìn)行科(kē)研(yán)工(gōng)作(zuò)。
2. 高(gāo)效(xiào)性能：具有較高(gāo)的功(gōng)率密(mì)度和離(lí)子能量，可(kě)以快速地(dì)改變(biàn)目標材料的(dí)物(wù)理性質(zhì)和化(huà)學(xué)性質。
3. 穩定性強：采用先進的(dí)控製(zhì)技術(shù)和優質(zhì)的材料(liào)製造(zào)，具有(yǒu)良好的穩定性(xìng)和可(kě)靠性。
4. 操(cāo)作(zuò)簡單(dān)：使用方(fāng)便(biàn)，操(cāo)作(zuò)簡(jiǎn)單，即(jí)使對(duì)於(yú)新(xīn)手(shǒu)也可(kě)以快速(sù)上(shàng)手。
5. 廣泛(fàn)應(yīng)用：不僅可(kě)以(yǐ)應用於材(cái)料(liào)科(kē)學領域(yù)，而且可(kě)以(yǐ)應用於(yú)生物(wù)醫(yī)學，電子(zǐ)技術(shù)，能(néng)源領域(yù)等各(gè)個(gè)領域(yù)。
在(zài)使用小型離子(zǐ)濺射(shè)儀時(shí)，需(xū)要注(zhù)意一些問題，如真空度(dù)，離子(zǐ)束(shù)流(liú)控製(zhì)，目標(biāo)材料(liào)的選擇和後(hòu)續處理等問題(tí)。隻(zhī)有合理地(dì)運用(yòng)小型離(lí)子(zǐ)濺射(shè)儀(yí)可以(yǐ)達到(dào)更(gēng)好的實驗效果(guǒ)和(hé)更高(gāo)的(dí)科(kē)研成果。
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