全封(fēng)閉顯影機

簡要(yào)描(miáo)述(shù)：全(quán)封閉顯(xiǎn)影(yǐng)機主(zhǔ)要用(yòng)於(yú)半導(dǎo)體製造中晶(jīng)片的(dí)顯影工藝，性(xìng)價比高，穩(wěn)定(dìng)性好，重(zhòng)復性(xìng)好(hǎo)，對顯影作(zuò)業(yè)有(yǒu)非(fēi)常理(lǐ)想的效(xiào)果(guǒ)。設備(bèi)配有一路顯影和一路水(shuǐ)，一(yī)路(lù)氣(qì)吹功能，並(bìng)且(qiě)噴(pēn)嘴(zuǐ)位(wèi)置可(kě)程控移(yí)動，實(shí)現(xiàn)自(zì)動(dòng)顯影和清(qīng)洗作(zuò)業(yè)。

產(chǎn)品型(xíng)號：DM200-SE
廠(chǎng)商(shāng)性質：生產(chǎn)廠(chǎng)家(jiā)
更新日期(qī)：2026-07-02
訪問量(liáng)：5587

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產(chǎn)品介紹(shào)：

　　全(quán)封(fēng)閉顯影機優勢

　　·全(quán)封閉式顯影，避(bì)免(miǎn)霧(wù)氣擴(kuò)散到外部，汙(wū)染環境。

　　·外殼(ké)噴塑(sù)，耐腐(fǔ)蝕(shí)，易(yì)清洗。

　　·內(nèi)腔(qiāng)鍍(dù)特(tè)氟(fú)龍，光(guāng)滑，耐腐蝕(shí)，易清(qīng)洗(xǐ)。

　　·內置(zhì)真(zhēn)空過濾器(qì)，防止液體(tǐ)吸入真(zhēn)空泵(bèng)。

　　·真空壓(yā)力可調(tiáo)，壓力(lì)值實時顯示(shì)。

　　·液(yè)體(tǐ)流(liú)量(liáng)可(kě)調，回(huí)吸(xī)可調。

全(quán)封閉顯影機參數(shù)

　　支持wafer尺(chǐ)寸：碎(suì)片(piàn)至200mm(8"圓(yuán)晶)

　　·轉速(sù)分(fēn)辨(biàn)率：±1 RPM

　　·旋(xuán)塗(tú)速度(dù)：20-3000rpm(空(kōng)載)

　　·旋塗(tú)加速度(dù)：10-10,000rpm/sec(空載)

　　·工(gōng)藝時(shí)間設定(dìng)： 0-3,000sec/step，時間(jiān)設置精(jīng)度： 0.1sec

　　·該機型適用(yòng)於(yú)標準3路顯影(yǐng)機(1路(lù)洗衣液(yè)，1路(lù)純水，1路(lù)氮氣)

　　·單步工藝及(jí)多步工藝可選，內置(zhì)100組可(kě)編(biān)輯程序

　　·可根(gēn)據(jù)客(kè)戶(hù)需求(qiú)定製(zhì)四管(guǎn)路(lù)顯(xiǎn)影(yǐng)機(jī)或更大(dà)基(jī)片(piàn)的(dí)顯(xiǎn)影機(jī)。

　　設備配有(yǒu)一路(lù)顯(xiǎn)影(yǐng)和(hé)一(yī)路(lù)水，一路氣(qì)吹(chuī)功能，並且噴嘴(zuǐ)位(wèi)置可(kě)程控移(yí)動(dòng)，實現自動顯影和清(qīng)洗作業。

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