全(quán)自動(dòng)離子濺(jiàn)射儀(yí)產品(pǐn)參(cān)數(shù):
1.腔(qiāng)體尺寸:石英(yīng)玻璃,直(zhí)徑150mm*高度130mm
2.供(gōng)電(diàn)規格(gé):AC220V,200w
3.適(shì)用(yòng)靶(bǎ)材:貴金(jīn)屬AU,Pt,Pd合金AU-Pt,AU-Pd 常規金屬Cu,W,Ag ,Cr 等
4.樣(yàng)品台(tái)可調高度:20~50mm
5.樣品台尺寸(cùn):直徑(jìng)55mm
6.工作(zuò)真空(kōng)度(dù):1~10Pa
7.氣體路(lù)數(shù):單(dān)路(lù)
8.氣體(tǐ)流量:手(shǒu)動調(tiáo)節
9.控(kòng)製(zhì):觸(chù)屏控製
10.外形尺寸:260mm*410mm*343mm(寬*深(shēn)*高)
11.重量:10KG
12.真(zhēn)空(kōng)泵(bèng):VRD-8
全自(zì)動離子濺射(shè)儀產品(pǐn)簡介(jiè):
1,人(rén)性(xìng)化設計,儀(yí)器操作簡(jiǎn)單,一鍵鍍膜。
2,儀器小(xiǎo)巧,不占空(kōng)間(jiān),適用(yòng)於實驗室,科(kē)研(yán)院(yuàn)所等(děng)。
3,鍍膜均匀(yún)細密(mì),適用(yòng)於(yú)多種靶材。
4,樣品台可(kě)以快速(sù)調節(jié),方便取(qǔ)放樣品(pǐn)。
5,儀(yí)器(qì)性(xìng)能可(kě)靠,設有(yǒu)多(duō)重安全(quán)保(bǎo)護(hù)機(jī)製(zhì)。
全(quán)自動離(lí)子濺射儀是(shì)一(yī)種功能強大(dà)的(dí)電子設備,經常用於表麵(miàn)分(fēn)析(xī)和薄膜製備。它可以利(lì)用離子束(shù)轟擊樣品表麵,然(rán)後通過檢測生成的離(lí)子進行(háng)分析(xī)。該(gāi)設備(bèi)通(tōng)常具(jù)有(yǒu)以(yǐ)下(xià)特點(diǎn):
1.條(tiáo)件控(kòng)製:全自動(dòng)離子濺射(shè)儀可以(yǐ)精確地控(kòng)製(zhì)離(lí)子(zǐ)束的能(néng)量(liáng),角度(dù),荷載和強度等條(tiáo)件。
2.多種(zhǒng)離子(zǐ)源:它可(kě)以裝配(pèi)多種離子源,包括氧化物(wù),碳(tàn)化(huà)物和金屬(shǔ)等。
3.檢測器:該(gāi)設備(bèi)通常配(pèi)備(bèi)專(zhuān)業檢測(cè)器,可以(yǐ)對(duì)樣品進(jìn)行自動分(fēn)析,控(kòng)製(zhì)和(hé)處理。
4.係統(tǒng)集成(chéng):它可(kě)以(yǐ)與(yǔ)其他設(shè)備集(jí)成,如掃描電鏡和光譜儀,以便(biàn)進行更全麵(miàn)的(dí)表麵分(fēn)析。
全自(zì)動離(lí)子(zǐ)濺射(shè)儀的(dí)應(yīng)用非常廣泛(fàn),包(bāo)括製備陶瓷(cí),薄(báo)膜,半導(dǎo)體和生(shēng)物醫(yī)學材料等(děng)。此外,它還可以用(yòng)於表(biǎo)麵加工(gōng),汙(wū)染控製和(hé)納(nà)米(mǐ)加(jiā)工等領域。